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科大新技術|提升無掩模光刻效能
香港科技大學工學院全球首創一款深紫外microLED顯示陣列晶元,當中可配合無掩模紫外光光刻技術,提升其光輸出功率密度準確性,並以較低成本及更速效的方法,推動半導體晶片生產的技術發展;論文發表在學術期刊《自然光子》。
- Posted December 31, 2024