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微列印機製壓電薄膜快百倍

By on November 10, 2023

原文刊於信報財經新聞「EJ Tech 創科鬥室」

香港科技大學與城市大學的團隊，合作研發一種微型列印機，以靜電場力把墨水高速噴射到基板上，精確迅速地操作薄膜圖案成形，令打印壓電薄膜的速度比現有技術快100倍，結構尺寸精密且控制水平高，用於生產各類「微機電系統」（MEMS）產品，例如傳感器、可穿戴或植入式醫療儀器，有望降低量產的製造成本。論文發表在學術期刊《自然通訊》。

科大機械及航空航天工程學系副教授楊征保（中），以及城大博士後研究員李學木博士（右）和城大博士課程學生張卓敏（左）。（科大提供圖片）

每部成本僅6000元

微型列印機成本僅6000港元，配備的多刺倒傘狀列印噴頭，由科大機械及航空航天工程學系自主設計，當強大靜電場作用到噴頭時，墨水會從每個刺尖噴射出來，適用於功能陶瓷、金屬納米顆粒、絕緣聚合物、生物分子等多種材料。過程只需10分鐘，就能在4吋矽晶圓製造10微米厚的壓電薄膜，技術上可用於製造收音咪、臨床超聲探頭的壓電元件，以及薄膜太陽能電池板。

微型列印機製造的壓電薄膜、微圖案及納米顆粒。（自然通訊網上圖片）

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