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EUV光刻機成本15億 ASML只售予5晶片商
By 信報財經新聞 on March 25, 2022
原文刊於信報財經新聞「StartupBeat創科鬥室」
打印世上所有最先進的半導體，都需要ASML的EUV光刻系統。（ASML網上圖片）
荷蘭光刻機巨頭艾斯摩爾（ASML）周三（23日）向CNBC透露，過去10年售出約140台EUV（極紫外）光刻系統，現時每台成本達2億美元（約15.6億港元）。目前機器只售予5間晶片製造商，頭三位為台積電（TSMC）、三星（Samsung）、英特爾（Intel），去年共佔其業務近84%。
最新一代的EUV光刻，是艾斯摩爾的獨家技術，它僅使用13.5納米波長，在晶圓上刻錄最精細圖案。以一枚3納米制程的高級邏輯晶片為例，由大約80層結構組成，當中約26層以EUV打印，其餘以DUV（深紫外線）微影系統打印。廠方過去17年間，投入EUV的研發資金，就超過60億歐羅（約515.55億港元）。
輝達洽英特爾代工生產
無論手機、電動車或家電，都需要晶片配合生產。英特爾行政總裁格爾辛格（Pat Gelsinger）提到，過去50年來，石油儲量牽動全球地緣政治問題；而半導體就像石油，在美國加大產能的話，有助避免全球危機。他續稱，公司擬投資數十億美元，在歐美建立晶片工廠，推動製造地域多元化。
格爾辛格指出，英特爾擬投資數十億美元，在歐美建立晶片工廠。（路透資料圖片）
另一美國晶片廠商輝達（Nvidia），其晶片主要由台積電生產。路透報道，輝達行政總裁黃仁勳在與記者的電話會議中稱，正與英特爾磋商，由對方代工生產輝達晶片。英特爾與輝達之間雖然存在競爭關係，但黃仁勳認為，輝達一直跟不同公司合作，不擔心商業機密問題。
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